이차이온수율의 변화
- 정확한 정량화 및 정성분석의 한계
- 복잡한 질량스펙트럼에 따른 질량간섭
- Depth profile
- Ion imaging
- Quantification(정량화)
- 표면 원소의 규명
- 원소농도 분포 분석
- 반도체재료의 불순물 농도 분포 분석
- 금속 재료의 불순물 비교조사
- 고분자 화합물의 조성 분석
장점
- Depth profile
- 모든 종류의 원소, 동위 원소 검출 가능
- ppb까지 분석
이온 영상 mapping, line scanning 가능
단점
분석시 많은 시간과 돈이 소요됨
시료 파괴
- 반도체 doping profiling
- 표면 원소의 규명
- 금속 재료의 불순물 비교조사
- 고분자 화합물의 조성
600V 2종 비닐 절연전선(HIV)의 과
이차전자는 검파기(detector)에 의해 수집되어 그 결과 생긴 신호들이 여러 점으로부터 모여들어 음극선관(cathod ray tube)에 상을 형성한다. 주사전자현미경의 특징은 초점이 높은 심도를 이용해서 비교적 큰 표본을 입체적으로 관찰 할 수 있다는 것이다.
두 가지 전자현미경의 차이를 보면, TEM은 얇은 시
1.개요
1) 원리
시료를 이온화 시킨 후 시료의 분자 이온이나 분자의 조각이온을 질량/전 하수(m/z비)에 따라 분리하여 독특한 패턴의 질량스펙트럼(mass spectrum)을 얻고 이 스펙트럼의 해석에 의해 물질의 정성(스펙트럼의 위 치) 및 정량(강도)분석을 행한다.
2) 특징
(1)유기 화합물의 경
Ι. 서 론
우리나라의 반도체 산업은 1983년 메모리공정 사업에 국내기업이 본격적으로 참여하면서 급속한 발전을 이룩해왔다. 짧은 기간에도 불구하고 현재 우리나라는 미국, 일본에 이어 세계 제3위의 반도체 생산대국으로 성장했으며, 특히 DRAM분야를 축으로 하는 반도체 메모리분야에서는 공급
공정상 사용하는 빛의 한계이다.현재 전자 회로 생산 공정에서 사용하는 자외선의 가장 짧은 파장이 약 250나노미터이다. 포토리소그래피에서 작은 회로두께를 만들기 위해서는 회로두께보다 작은 파장의 광선이 필요한데 이것은 그리려는 선보다 폭이 두꺼운 붓으로는 선을 그리기 힘든 것과 같습니
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서 론
오늘날 각 분야별로 전세계를 휩쓸고 있는 몇가지 현상이 있는데, 과학기술분야에서 나타나고 있는 전지,반도체,LCD의 개발붐을 들 수 있다.이는 3C라 불리우는 통신기기(Communication), 컴퓨터, 캠코더등 21세기의 인류 생활과 밀접한 미래형 전자기기의 후대화, 고성능화, 경박단소화를 위해서
.면역측정용 표면 플라즈마 공명 바이오센서
1. 면역측정용 표면 플라즈마 공명 바이오센서
바이오센서는 생물이 가지는 뛰어난 분자 식별기구를 이용한다. 그리고 그 대표적인 예는 효소의 기질특이성을 이용한 효소센서이다. 생물이 가지는 뛰어난 분자 식별기구는 생체분자의 특이적인 상호작